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芯片制造过程中,既需高纯度用水保障生产精度,也会产生含微量有机物、悬浮物的废水,MBR 帘式膜凭借高效分离性能,在芯片制造的水质预处理与废水回用环节展现出良好应用效果,为生产与环保需求提供双重支撑。
从生产用水预处理来看,MBR 帘式膜能提升进水洁净度。芯片制造前的原水预处理需去除水中悬浮物、微生物及部分胶体,MBR 帘式膜通过膜丝的精密过滤,可高效截留这些杂质,避免其进入后续超纯水制备系统(如反渗透、EDI),减少核心纯化部件的污染风险,间接保障最终清洗用水的纯度,为晶圆清洗、光刻等高精度工序提供稳定的水质基础,降低因预处理不彻底导致的芯片质量隐患。
从废水处理与回用来看,MBR 帘式膜助力资源循环。芯片制造废水(如清洗废水、光刻废水)含低浓度有机物与微量杂质,直接排放既浪费水资源,也需承担环保压力。MBR 帘式膜可对这类废水进行深度处理,截留水中的污染物,使处理后水质达到回用标准,可重新用于设备冷却、地面冲洗等非核心生产环节,提升水资源利用率;同时,其模块化设计适配芯片制造废水的间歇排放特性,可灵活调整处理规模,避免设备闲置或负荷过载,保障处理效率稳定。
此外,MBR 帘式膜的抗污染特性适配芯片制造需求。芯片制造用水与废水成分相对复杂,MBR 帘式膜的帘式结构利于水流扰动,减少污染物附着,且清洗维护便捷,可长期保持稳定过滤性能,减少因设备故障导致的生产或废水处理中断,为芯片制造的连续化、稳定化运行提供支持。